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Talyrond 595H的所有軸都經(jīng)過精密加工，加強(qiáng)了軟件自動更正功能，讓TR595H擁有了*可比擬的直線度和圓度精確度。調(diào)心和調(diào)平操作臺配有高分辨率電機(jī)，進(jìn)一步加強(qiáng)了精度和全自動設(shè)置目標(biāo)功能。該系統(tǒng)配有的Talymin 5傳感器測量能力能夠達(dá)到納米級別，同時自動橫臂機(jī)制能夠提供*以倫比的多功能化確保能夠測量*難以達(dá)到的部分。TR595H配置的主動抗振控制托架確保了不受外界環(huán)境影響的測量環(huán)境，保證測量環(huán)境接近生產(chǎn)過程。

   ? 全自動軸臂橫向和縱向機(jī)制
   ? 軸臂、立柱和主軸校準(zhǔn)自動校準(zhǔn)
   ? 自動傳感器校準(zhǔn)
   ? 高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um
   ? 傳感器分辨率0.3 nm
   ? 主動隔震和環(huán)境隔離系統(tǒng)

監(jiān)控制造過程：