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對于測球直徑大于3 mm、長度超過30 mm的測桿，陶瓷測桿所具有的剛性類似于鋼測桿，但重量遠比碳化鎢測桿輕。采用陶瓷測桿的測針因發(fā)生碰撞時測桿會破碎，因此測針對測頭有額外的碰撞保護作用。

陶瓷空心球形測針是檢測X、Y和Z向深位特性和孔的理想選擇，只需要標定一個球。該系列有兩種，直徑為18 mm和33 mm，分別專用于TP2/TP20/TP200和TP6測頭。用這種大直徑測球檢測可均化表面粗糙度造成的影響。