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測量標(biāo)準(zhǔn)

RSLR：高精度不銹鋼直線硬柵尺

讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH)

36 mm x 13.5 mm x 10.5 mm

柵距

20 μm

熱膨脹系數(shù)

~10.8 μm/m/°C

20 °C時(shí)的精度等級

1m內(nèi)為±1.5 μm，2m內(nèi)為±2.25 μm，3m內(nèi)為±3 μm，5m內(nèi)為±4 μm，校準(zhǔn)可溯源到國際標(biāo)準(zhǔn)

參考零位

利用磁勵(lì)體的單向重復(fù)精度達(dá)到1單位分辨率

限位開關(guān)

可選單限位

柵尺長度

20 mm至5000 mm

最大速度 
模擬 
數(shù)字

（詳見規(guī)格手冊）
-3dB時(shí)可達(dá)3 m/s
可達(dá)5 m/s

電子細(xì)分誤差 (SDE)

一般< ±0.05 μm

動態(tài)信號控制

自調(diào)節(jié)主動修正包括自動偏置控制 (AOC)、自動增益控制 (AGC) 和自動平衡控制 (ABC)，在操作過程中實(shí)現(xiàn)最優(yōu)性能

增量信號 
模擬 
數(shù)字

1Vpp（周期為20 μm）
分辨率從5 μm至5 nm

電氣連接

電纜長度為1.5 m、3 m和5 m，采用D型插頭（15針）

電源

5 V -5%，+10%；200 mA（無端接）

振動（工作）

55 Hz至2000 Hz時(shí)100 m/s2（最大值）

震動（非工作）

1000 m/s2，6 ms，?正弦

工作溫度

0 °C至+55 °C

防護(hù)等級

讀數(shù)頭：IP40

接口：IP20