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TONiC UHV rgsz20增量式直光柵

TONiC UHV是雷尼紹向高真空應用領域推出的小型非接觸式光柵系統(tǒng),可為客戶提供更強的運動控制性能。

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什么是TONiC UHV?
TONiC UHV是雷尼紹向高真空應用領域推出的小型非接觸式光柵系統(tǒng),可為客戶提供更強的運動控制性能。
TONiC的速度高達10 m/s,與Ti接口結(jié)合使用,其在線性和旋轉(zhuǎn)應用中的分辨率均達到1 nm。由于安裝公差大,并且只需按下按鈕即可進行校準,因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性,而且電子細分誤差低,通常小于±30 nm,從而有助于實現(xiàn)卓越的運動控制性能。




什么是RGSZ柵尺?
RGSZ是一款由薄型柔性鋼帶制成的帶狀柵尺,柵距為20 μm,鋼帶經(jīng)過鍍金具有更高的反射率和耐腐蝕性,并具有用戶可選的IN-TRAC參考零位??梢允褂帽趁孀詭У腢HV兼容不干膠將其安裝到金屬、陶瓷和合成材料等大多數(shù)工程材料上。RGSZ可用柵尺端壓塊固定到基體上,并與基體的熱膨脹系數(shù)保持一致。柵尺成卷供貨,用戶可根據(jù)需要任意裁剪,可滿足長達50 m的軸長需要。

為什么選擇這種光柵系統(tǒng)? 
超高真空 (UHV)
TONiC UHV讀數(shù)頭具有標準TONiC讀數(shù)頭的優(yōu)異性能,而且其設計和制造使用了UHV兼容材料和工藝,因此適合用于低至10 -10 Torr的高真空條件。
TONiC UHV系列光柵及附件由真空兼容材料和粘合劑制成,出氣率低,進行殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境,適用于晶片處理/測試、科學儀器、光譜學、真空檢測設備等多種應用。

長度長
為減少用戶的庫存需要并盡可能增強生產(chǎn)靈活性,柵尺可以成卷供貨,長度按需裁剪。有多種長度可供選擇,*長可達50 m。

尺寸小,但可靠性和性能佳
TONiC讀數(shù)頭采用第三代光學濾波系統(tǒng),噪聲(抖動)更低,包括自動增益控制和自動偏置控制在內(nèi)的動態(tài)信號處理使其功能更強大,因此具有優(yōu)異的可靠性和穩(wěn)定性能。這種組合全部集成到讀數(shù)頭內(nèi)部,可提供高質(zhì)量的信號純度和較低的電子細分誤差(僅有±30 nm)。結(jié)果具有更為平穩(wěn)的速度控制,并且掃描性能和位置穩(wěn)定性都獲得提高,從而有助于*大限度減少真空條件下電機中積聚的熱量;真空應用的所有關鍵參數(shù)均存儲在緊湊型讀數(shù)頭中。

安裝更加方便快捷
讀數(shù)頭上的LED安裝指示燈直觀顯示信號強度,而可選的診斷組件在機器收起讀數(shù)頭后可遠程檢查系統(tǒng)性能。只需按下按鈕,即可校準參考零位和增量信號,無需機械調(diào)整或其他診斷工具??蛻艨蛇x的IN-TRAC光學參考零位直接刻劃在增量柵尺上,不僅令設計緊湊,而且校準步驟也更簡單。這樣可產(chǎn)生參考零位輸出,在整個工作溫度和速度范圍內(nèi)雙向重復精度都能夠達到單位分辨率。


接口選項

TD(雙分辨率)接口
可選雙分辨率正交輸出。 Ti接口(方形)
是要求高速運動以及高精度移動的應用的理想選擇。

DOP(雙輸出)接口
提供同步的數(shù)字方波和1 Vpp信號。
設計用于需要將一個或多個操作與運動軸同步的應用場合。

TONiC雙輸出 (DOP) 接口



 可選診斷組件
TONiC?診斷組件(軟件和硬件)
TONiC診斷軟件可用于優(yōu)化TONiC光柵的安裝,并提供快速全面的系統(tǒng)校準方案。該軟件必須與TONiC診斷硬件配合使用,硬件可向雷尼紹購買(訂貨號為A-9411-0011)。該硬件內(nèi)嵌至客戶端電子設備,或通過USB電纜(組件中提供)連接至計算機。

 

了解有關TONiC診斷組件的詳細信息。


技術規(guī)格

測量標準

RGSZ20:鍍金鋼帶,帶保護膜或聚酯涂層

還提供不帶參考零位的柵尺,如RGSN20

讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH)

35 mm x 13.5 mm x 10 mm

柵距

20 μm

熱膨脹系數(shù)

用端壓塊固定柵尺端部后,保持與基體材料膨脹系數(shù)一致

精度等級

±15 μm/m(應用2點補償時為±3 μm/m)

參考零位

間距為50 mm時的IN-TRAC參考零位

選擇器磁鐵用于識別選定的參考零位

限位開關

單限位或雙限位(訂貨時選擇)

柵尺長度

最長達50,000 mm

最高速度

模擬

數(shù)字

(詳見規(guī)格手冊)

-3 dB時可達10 m/s

最高可達10 m/s

電子細分誤差 (SDE)

一般 <±30 nm

動態(tài)信號控制

實時信號調(diào)節(jié),包括自動增益控制 (AGC) 和自動偏置控制 (AOC),可在操作期間實現(xiàn)性能優(yōu)化

增量信號

模擬

數(shù)字


1 Vpp(周期為20 μm)

分辨率從5 μm至1 nm

電氣連接

電纜長度為0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型插頭(直接連接至TONiC接口)

電源

5 V ±10%,<100 mA(模擬系統(tǒng)),<200 mA(數(shù)字系統(tǒng))(無端接)

讀數(shù)頭功耗 <100 mA

振動(工作)

55 Hz至2000 Hz時100 m/s2 (最大值)

沖擊(非工作)

1000 m/s2,6 ms,?正弦

工作溫度(系統(tǒng))

0 °C至+70 °C

烘焙溫度(非工作)

120 °C(僅限讀數(shù)頭和柵尺)

防護等級

讀數(shù)頭:IP20

接口:IP20

電纜構造

鍍錫編織銅線電纜,單層屏蔽,帶FEP絕緣

請參閱規(guī)格手冊,了解詳細信息。


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