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測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

RGS20-S：鍍金鋼帶，帶保護(hù)膜或聚酯涂層

讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH)

44 mm x 27mm x 16 mm

柵距

20 μm

熱膨脹系數(shù)

用端壓塊固定柵尺端部后，保持與基體材料膨脹系數(shù)一致

精度等級(jí)

±15 μm/m（應(yīng)用2點(diǎn)補(bǔ)償時(shí)為±3 μm/m）

參考零位

利用磁勵(lì)體的單向重復(fù)精度達(dá)到1單位分辨率

限位開(kāi)關(guān)

單限位或雙限位（訂貨時(shí)選擇）

柵尺長(zhǎng)度

長(zhǎng)達(dá)50,000 mm

最高速度

模擬

數(shù)字

（詳見(jiàn)規(guī)格手冊(cè)）

-3 dB時(shí)可達(dá)4 m/s

高可達(dá)10 m/s

電子細(xì)分誤差 (SDE)

一般小于±0.15 μm

動(dòng)態(tài)信號(hào)控制

直流光源伺服提供簡(jiǎn)單的自動(dòng)增益控制 (AGC) 功能來(lái)優(yōu)化信號(hào)水平

增量信號(hào)

模擬

數(shù)字

1 Vpp，12 μA（周期為20 μm）

分辨率從5 μm至50 nm

電氣連接

電纜長(zhǎng)度為0.5 m、1 m、1.5 m、2 m、3 m和5 m，采用D型插頭（15針）、圓形插頭（9針和12針）、同軸插頭（16針）或散線(xiàn)

電源

5 V ±5%，120 mA（典型）、200 mA（分辨率為0.1 μm和50 nm）（無(wú)端接）

振動(dòng)（工作）

55 Hz至2000 Hz時(shí)100 m/s2 （最大值）

震動(dòng)（非工作）

1 000 m/s2，6 ms ，?正弦

工作溫度

0 °C至+55 °C

防護(hù)等級(jí)

IP50