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柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)（20°C時）

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

搭配可選FASTRACK?的RTLA

±5 μm/m

30 μm

10.1 ±0.2 μm/m/°C

21 m

RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)（20°C時）

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RELA

1 m內為±1 μm，以后±1 μm/m

30 μm

0.75 ±0.35 μm/m/°C

1.5 m

RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

柵尺名稱

精度

柵距

熱膨脹

系數(shù)（20°C時）

柵尺*大長度

讀數(shù)頭兼容性

RSLA

1 m內為±1.5 μm，2 m內為±2.25 μm，3 m內為±3 μm，5 m內為±4 μm

30 μm

10.1 ±0.2 μm/m/°C

5 m

RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS

柵尺名稱

刻劃精度（取決于圓光柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性 

RESA

±3.97至±0.38角秒

30 μm

16 μm/m/°C

52至550 mm

RESOLUTE、

RESOLUTE UHV、

RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS

柵尺名稱

安裝精度

（取決于圓柵直徑）

柵距

熱膨脹

系數(shù)

圓光柵直徑

讀數(shù)頭兼容性

REXA

（≥100 mm直徑）

±1角秒
（75 mm直徑）

±1.5角秒
（≤57 mm直徑）

±2角秒

30 μm

16 μm/m/°C

52至417 mm

RESOLUTE、

RESOLUTE UHV、

RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS