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當(dāng)前位置：首頁(yè) >工業(yè)檢測(cè) >激光干涉儀/跟蹤儀 >美國(guó)ZYGO DynaFiz新型干涉儀

美國(guó)ZYGO DynaFiz新型干涉儀

新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和極端振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行精確的光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。

市場(chǎng)價(jià)：

優(yōu)惠價(jià)：0.00

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新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀：

新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和極端振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行精確的光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz? 光學(xué)系統(tǒng)的長(zhǎng)壽命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相機(jī)的高速快門能夠“凝固”振動(dòng)。這種動(dòng)態(tài)能力提供了在惡劣的環(huán)境中，傳統(tǒng)的時(shí)間相移技術(shù)不可能實(shí)現(xiàn)的可靠的測(cè)量。

DynaFiz? 干涉儀的低噪聲，高分辨率相機(jī)和光學(xué)放大能力能夠清晰地觀察被測(cè)樣品表面的中間空間頻率特征。DynaFiz? 干涉儀具有獨(dú)特的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)獲取能力也給光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)提供了便利。 LivePhase? 獲取能力提供了實(shí)時(shí)Zernike反饋為光學(xué)系統(tǒng)的光路對(duì)準(zhǔn)進(jìn)行追蹤。這是一個(gè)電影形式，把一系列動(dòng)態(tài)圖像連接成電影提供光學(xué)系統(tǒng)隨時(shí)間變化的過(guò)程。采用具有獨(dú)特性能和多功能的ZYGO DynaFiz? 干涉儀將使你的計(jì)量得到很大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測(cè)量可靠性。

主要性能特點(diǎn)

? 可以在空氣擾動(dòng)和極端震動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量；
? 更新的抗振模式QPSI快速機(jī)械移相法；
? 優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)清晰呈現(xiàn)被測(cè)面的中頻信息；
? LivePhase技術(shù)能夠進(jìn)行實(shí)時(shí)的Zernike分析；
? 影片模式捕獲、反映波陣面隨時(shí)間的變化情況；
? CARS功能，可以消除灰塵臟點(diǎn)引起的衍射環(huán)，及其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響
? DynaFiz校正算法，適用于高階和低階相差；

DynaFiz® Interferometer System

圖為：DynaFiz® Interferometer System

系統(tǒng)主要參數(shù)

測(cè)量功能	精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
測(cè)量技術(shù)	DynaPhase動(dòng)態(tài)測(cè)量技術(shù)；可選模式：機(jī)械相移測(cè)量（PSI）
校準(zhǔn)系統(tǒng)
動(dòng)態(tài)模式	DyanaPhase 對(duì)準(zhǔn)向?qū)?zhǔn)
移相模式	快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV	±3°
測(cè)量光束直徑	4″（102mm）
光學(xué)中心線	4.25″（108mm）
激光光源	大功率穩(wěn)定氦-氖激光，IIIa 級(jí)
波長(zhǎng)	633 nm
頻率穩(wěn)定度	< 0.0001 nm
相干長(zhǎng)度	＞100m
成像分辨率	1200 x 1200 像素
幀速	50Hz（600 x 600 像素：82Hz）
數(shù)據(jù)模式	10位
放大	電控塔臺(tái)切換，1X,1.7X,3X
偏振	接近圓偏振（1.2：1或者更好）
光曈調(diào)焦范圍	±2m
無(wú)線遙控	聚焦，放大，校準(zhǔn)控制；遙控范圍：15m
計(jì)算機(jī)和軟件	高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO **MetroproTM X軟件
安裝構(gòu)造	水平臥式或垂直立式
附件	參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463
尺寸(長(zhǎng)x寬x高)	60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；帶移相器長(zhǎng)度增加9cm（3.6in.）
重量	≤80lb（36 Kg）；帶移相器增加10lb（5kg）
電源	100-240VAC，50/60Hz
保修期	2年

在使用時(shí)有如下特性

MX軟件功能強(qiáng)大，操作簡(jiǎn)單

?  集成大量常用測(cè)量程序模塊
?  多個(gè)樣品的同時(shí)分析
?  球面曲率半徑的測(cè)量
?  角錐和棱鏡測(cè)量
?  雙球面和三平板的測(cè)量
?  相對(duì)角度和楔板楔角的測(cè)量
?  材料均勻性的測(cè)量
?  傅立葉變換移相干涉測(cè)量(MST型)
?  動(dòng)態(tài)設(shè)備如MEMS的測(cè)量
?  薄膜上下層形貌和厚度的測(cè)量
?  金屬零件的測(cè)量

簡(jiǎn)單的定制過(guò)程，用戶可調(diào)

?  設(shè)定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過(guò)程中的各種參數(shù)
?  選擇需要顯示的圖像曲線和數(shù)據(jù)結(jié)果
?  幾百種符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)可供選擇
?  自定義屏幕上各種窗口的編排
?  保存和輸出每個(gè)樣品參數(shù)測(cè)量.分析設(shè)定數(shù)據(jù)結(jié)果

適用于工業(yè)化生產(chǎn)的軟件

?  質(zhì)量控制－－自動(dòng)顯示“合格/不合格”
?  編程功能－－儀器自動(dòng)按用戶所編程序模式運(yùn)行.產(chǎn)生相應(yīng)的信息
?  根據(jù)用戶定義的計(jì)算公式，產(chǎn)生相應(yīng)的結(jié)果
?  實(shí)時(shí)屏現(xiàn)SPC
?  自動(dòng)數(shù)據(jù)保存和統(tǒng)計(jì)
?  應(yīng)用程序"鎖定"功能

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